前不久，在蘇州工業(yè)園區(qū)，國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（蘇州）發(fā)布“揭榜掛帥”項(xiàng)目指南。該中心副主任、江蘇第三代半導(dǎo)體研究院院長徐科表示，發(fā)布第三代半導(dǎo)體“揭榜掛帥”項(xiàng)目，是為了加快人才集聚、協(xié)作突破難點(diǎn)，加大關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)力度，全力推進(jìn)該領(lǐng)域高水平科技自立自強(qiáng)。目前，第三代半導(dǎo)體材料生產(chǎn)裝備及核心部件開發(fā)等關(guān)鍵技術(shù)項(xiàng)目已由廈門大學(xué)、西安交通大學(xué)等高校揭榜。

　　自2006年在國內(nèi)率先布局納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)以來，蘇州工業(yè)園區(qū)一步步建載體、引人才、招企業(yè)，構(gòu)建日益完善的產(chǎn)業(yè)生態(tài)，推動從研究走向應(yīng)用、從技術(shù)走向產(chǎn)業(yè)。

　　產(chǎn)業(yè)培育“慢工出細(xì)活”

　　納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)空間大、潛力足，但與之相對的是投入大、回報(bào)慢。錨定目標(biāo)，一張藍(lán)圖繪到底。經(jīng)過十多年悉心培育，納米產(chǎn)業(yè)在這里從“零基礎(chǔ)”變成“千億級”，目前園區(qū)已躋身全球五大納米產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)之一，以園區(qū)為核心的蘇州市納米新材料集群入選國家先進(jìn)制造業(yè)集群，產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新集群建設(shè)高歌猛進(jìn)。

　　“納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，既要看得遠(yuǎn)，前瞻布局規(guī)劃先行；又要沉住氣，甘于坐‘冷板凳’，慢工才能出細(xì)活?！碧K州納米科技發(fā)展有限公司董事長張淑梅說。

　　一番梳理之下，該產(chǎn)業(yè)發(fā)展路徑和關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)歷歷在目——

　　2006年，中科院蘇州納米所在獨(dú)墅湖畔成立，拉開了蘇州納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)發(fā)展的序幕；

　　2010年，園區(qū)在國內(nèi)率先將納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)列為區(qū)域戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，通過實(shí)施納米科技領(lǐng)軍人才計(jì)劃、納米三年雙倍增計(jì)劃等，吸引海內(nèi)外高層次人才紛至沓來；

　　2013年，作為園區(qū)發(fā)展納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的主陣地，蘇州納米城正式投用，后被認(rèn)定為“國家級科技企業(yè)孵化器”；2019年，江蘇省第三代半導(dǎo)體研究院成立；2021年，國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（蘇州）掛牌成立……

　　至2023年，園區(qū)已累計(jì)落戶近40家行業(yè)相關(guān)科研院所、高校研究院。通過鼓勵科研機(jī)構(gòu)與企業(yè)聯(lián)合立項(xiàng)、攻關(guān)，園區(qū)在高性能微球材料、先進(jìn)半導(dǎo)體材料、高端芯片研發(fā)等10多個(gè)領(lǐng)域不斷取得核心技術(shù)突破，填補(bǔ)多項(xiàng)國內(nèi)外空白。

　　在17年的發(fā)展過程中，園區(qū)逐步探索出“十個(gè)一”產(chǎn)業(yè)培育機(jī)制，即聚焦一個(gè)特色產(chǎn)業(yè)、制定一個(gè)產(chǎn)業(yè)規(guī)劃、組建一家國資公司、建設(shè)一個(gè)功能園區(qū)、引進(jìn)一批大院大所、設(shè)立一只產(chǎn)業(yè)基金、成立一個(gè)服務(wù)機(jī)構(gòu)、集聚一批龍頭企業(yè)、搭建一批合作平臺、打造一個(gè)品牌盛會。

　　激發(fā)各類要素活力效能

　　蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城，勝科納米（蘇州）股份有限公司實(shí)驗(yàn)室內(nèi)，公司創(chuàng)始人李曉旻正在和團(tuán)隊(duì)進(jìn)行樣品測試?！靶酒庋b完畢后，可能仍有潛在的瑕疵和缺陷，用在關(guān)鍵設(shè)備上會發(fā)生故障。我們要做的，就是找出這些瑕疵并進(jìn)行優(yōu)化。”李曉旻說，這項(xiàng)“芯片醫(yī)生”工作專業(yè)性極強(qiáng)。

　　勝科納米所在的蘇州納米城，是全球最大的納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)綜合社區(qū)，也是蘇州市納米新材料創(chuàng)新集群核心區(qū)之一，由蘇州納米科技發(fā)展有限公司負(fù)責(zé)運(yùn)營與建設(shè)。這里集聚了200多家納米新材料企業(yè)，其中不乏納微科技、納維科技等資本市場看好的“明星企業(yè)”，在半導(dǎo)體器件、新型顯示與照明、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域都處于上游核心環(huán)節(jié)。

　　縱觀園區(qū)納米產(chǎn)業(yè)發(fā)展，可以發(fā)現(xiàn)，幾乎每個(gè)節(jié)點(diǎn)上都有像蘇州納米科技這樣的國資力量承擔(dān)著“鏈主”功能。蘇州納米科技公司通過一系列舉措，使各類要素發(fā)揮最大最直接的產(chǎn)業(yè)促進(jìn)效能。以搭建平臺為例，園區(qū)在基礎(chǔ)性平臺上，建立納米加工平臺、納米測試分析平臺等；在技術(shù)支撐與工程化方面建立MEMS中試平臺等，同時(shí)建立標(biāo)準(zhǔn)與檢測中心，服務(wù)園區(qū)企業(yè)的技術(shù)科研、產(chǎn)品創(chuàng)新、產(chǎn)業(yè)化發(fā)展需求。

　　蘇州工業(yè)園區(qū)先后匯集了15家納米產(chǎn)業(yè)相關(guān)的上市公司，其中蘇州納米城孵化了5家上市公司，且形成上市企業(yè)梯隊(duì)。此外，園區(qū)納米產(chǎn)業(yè)相關(guān)基金已超10只，總規(guī)模約20億元，后續(xù)則引導(dǎo)80億至100億元投資規(guī)模。

　　打造新材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新集群

　　在納米產(chǎn)業(yè)的培育發(fā)展中，蘇州工業(yè)園區(qū)尤其注重科技自立自強(qiáng)，牢牢把握創(chuàng)新主動權(quán)、發(fā)展主動權(quán)，努力實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵核心技術(shù)自主可控。

　　建設(shè)“大科學(xué)裝置”，中科院蘇州納米所納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站二期日前順利通過驗(yàn)收，這是目前世界上最大的真空互聯(lián)科研裝置，集材料原位生長、器件加工、測試分析為一體。走進(jìn)其中，只見長達(dá)203米的超高真空管道縱橫交錯(cuò)，連接了近40臺大型設(shè)備，管道旁，待試驗(yàn)樣品被機(jī)械手送進(jìn)設(shè)備后傳送至相應(yīng)節(jié)點(diǎn)。截至2022年12月，實(shí)驗(yàn)站累計(jì)開展合作課題651個(gè)，建立起輻射長三角地區(qū)、延伸海內(nèi)外的用戶科研服務(wù)體系。

　　國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（蘇州）落戶蘇州工業(yè)園區(qū)，不僅彰顯區(qū)域科研實(shí)力，也成為助推創(chuàng)新資源集聚的又一抓手。自2021年3月獲批并啟動建設(shè)以來，隨著國家級平臺、領(lǐng)軍企業(yè)、代表性人才加速落地，國創(chuàng)中心（蘇州）已取得累累碩果：在大尺寸氮化鎵材料制備等領(lǐng)域取得重大突破，累計(jì)申請核心專利超200項(xiàng)；材料生長創(chuàng)新平臺推動可見光通信應(yīng)用等領(lǐng)域技術(shù)指標(biāo)國內(nèi)領(lǐng)先。

　　根據(jù)《蘇州市納米新材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新集群行動計(jì)劃（2023-2025年）》，該市將努力打造全球最具吸引力的納米新材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新集群，力爭到2025年，全市納米新材料產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值突破1000億元。對照這一目標(biāo)，蘇州工業(yè)園區(qū)正奮力續(xù)寫更多精彩故事。

　　新華日報(bào)·交匯點(diǎn)記者孟旭 王俊杰